半導体製造装置
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ハンドリングアーム耐プラズマ性、耐熱性などにより、様々な半導体製造装置部品に採用されています。 |
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チャンバー用窓耐プラズマ性、耐熱性などにより、様々な半導体製造装置部品に採用されています。 |
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キャリアプレート耐プラズマ性、耐熱性などにより、様々な半導体製造装置部品に採用されています。 |
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ウエハボート耐プラズマ性、耐熱性などにより、様々な半導体製造装置部品に採用されています。 |
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リフトピン耐プラズマ性、耐熱性などにより、様々な半導体製造装置部品に採用されています。 |
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プラズマ発生/導入チューブ、マイクロ波導入チューブ耐プラズマ性、耐熱性などにより、様々な半導体製造装置部品に採用されています。 |
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