半導体製造装置

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ハンドリングアーム

耐プラズマ性、耐熱性などにより、様々な半導体製造装置部品に採用されています。
  • 耐プラズマ性
  • 耐熱性
  • 低誘電損失
  • ウエハ搬送
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チャンバー用窓

耐プラズマ性、耐熱性などにより、様々な半導体製造装置部品に採用されています。
  • 耐プラズマ性
  • 耐熱性
  • 低誘電損失
  • チャンバー内確認用窓
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キャリアプレート

耐プラズマ性、耐熱性などにより、様々な半導体製造装置部品に採用されています。
  • 耐プラズマ性
  • 耐熱性
  • 低誘電損失
  • ウエハ搬送
写真:リンク先:ウエハボート

ウエハボート

耐プラズマ性、耐熱性などにより、様々な半導体製造装置部品に採用されています。
  • 耐プラズマ性
  • 耐熱性
  • 低誘電損失
  • 治具
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リフトピン

耐プラズマ性、耐熱性などにより、様々な半導体製造装置部品に採用されています。
  • 耐プラズマ性
  • 耐熱性
  • 低誘電損失
  • 治具
写真:リンク先:プラズマ発生/導入チューブ、マイクロ波導入チューブ

プラズマ発生/導入チューブ、マイクロ波導入チューブ

耐プラズマ性、耐熱性などにより、様々な半導体製造装置部品に採用されています。
  • 耐プラズマ性
  • 耐熱性
  • 低誘電損失
  • プラズマ発生/導入チューブ
  • マイクロ波導入チューブ

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