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半導体·液晶製造装置
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ポリッシングプレート高剛性、耐薬品性により、長期の使用でも、良好な表面状態が維持できます。 |
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SiC製ポリッシングプレートより高熱伝導、低熱膨張を追求したポリッシングプレート |
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耐プラズマ材料高純度と優れた耐プラズマ性により、部品の長寿命化に貢献します。 |
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研磨布ドレッシングプレート優れた耐摩耗性があり、条件に合わせた微小突起加工が可能です。 |
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液晶製造装置用大型部品高剛性、高精度の大型構造部材を提供しています。 |
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ドーム·チャンバー高純度と優れた耐プラズマ性により、部品の長寿命化に貢献します。 |
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真空チャック、ステージ一体型ミラー、ステージ部品高純度と優れた耐薬品性の搬送部品。使用条件に合わせ、様々な表面形状が可能です。 |
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静電チャック高純度で、優れた耐プラズマ性と着脱応答性を有し、幅広い温度域に対応します。 |
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セラミックヒーター高純度で、優れた耐プラズマ性と均熱性を有します。 |
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搬送アーム真空吸着タイプ、テフロン等のコーティングが製作可能です。 |
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