半導体・液晶製造装置

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写真:リンク先:ポリッシングプレート

ポリッシングプレート

高剛性、耐薬品性により、長期の使用でも、
良好な表面状態が維持できます。
  • 高硬度
  • 耐摩耗性
  • ウエハ固定治具
写真:リンク先:SiC製ポリッシングプレート

SiC製ポリッシングプレート

より高熱伝導、低熱膨張を追求したポリッシングプレート
  • 高熱伝導性
  • 低熱膨張
  • 高ヤング率
  • 均熱性
  • 耐薬品性
  • ウエハ固定治具
写真:リンク先:耐プラズマ材料

耐プラズマ材料

高純度と優れた耐プラズマ性により、部品の長寿命化に貢献します。
  • 耐プラズマ性
  • 低誘電損失
  • チャンバー部品
写真:リンク先:研磨布ドレッシングプレート

研磨布ドレッシングプレート

優れた耐摩耗性があり、条件に合わせた微小突起加工が可能です。
  • 耐久性
  • Hv=5000
  • ドレッシングツール
写真:リンク先:液晶製造装置用大型部品

液晶製造装置用大型部品

高剛性、高精度の大型構造部材を提供しています。
  • 高剛性
  • 低反射
  • ガラス保持
写真:リンク先:ドーム·チャンバー

ドーム·チャンバー

高純度と優れた耐プラズマ性により、部品の長寿命化に貢献します。
  • 耐プラズマ性
  • 電気的均一性
  • チャンバー部品
写真:リンク先:真空チャック、ステージ一体型ミラー、ステージ部品

真空チャック、ステージ一体型ミラー、ステージ部品

高純度と優れた耐薬品性の搬送部品。使用条件に合わせ、様々な表面形状が可能です。
  • 高精度
  • 低熱膨張
  • 高剛性
  • ウエハ保持/運搬
写真:リンク先:静電チャック

静電チャック

高純度で、優れた耐プラズマ性と着脱応答性を有し、幅広い温度域に対応します。
  • 耐プラズマ性
  • ウエハ固定/矯正/冷却
写真:リンク先:セラミックヒーター

セラミックヒーター

高純度で、優れた耐プラズマ性と均熱性を有します。
  • 耐プラズマ性
  • 高熱伝導性
  • 均熱性
  • ウエハ加熱用ヒーター
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搬送アーム

真空吸着タイプ、各種コーティングが製作可能です。
  • 高温耐久
  • ウエハ運搬

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様々なカスタマイズに対応可能です。

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