ウエハ製造用装置

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写真:リンク先:ポリッシングプレート

ポリッシングプレート

高剛性、耐薬品性により、長期の使用でも、
良好な表面状態が維持できます。
  • 高硬度
  • 耐摩耗性
  • ウエハ固定治具
写真:リンク先:SiC製ポリッシングプレート

SiC製ポリッシングプレート

より高熱伝導、低熱膨張を追求したポリッシングプレート
  • 高熱伝導性
  • 低熱膨張
  • 高ヤング率
  • 均熱性
  • 耐薬品性
  • ウエハ固定治具
写真:リンク先:研磨布ドレッシングプレート

研磨布ドレッシングプレート

優れた耐摩耗性があり、条件に合わせた微小突起加工が可能です。
  • 耐久性
  • Hv=5000
  • ドレッシングツール
写真:リンク先:搬送アーム

搬送アーム

真空吸着タイプ、各種コーティングが製作可能です。
  • 高温耐久
  • ウエハ運搬

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ファインセラミックスに関するご相談は、私たちにお任せ下さい。080-6202-8600 受付時間9:00~17:00(弊社営業日)

お客様のご要求にお応えできる一貫した幅広い技術を自社に保有

様々なカスタマイズに対応可能です。

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