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ウエハ製造用装置
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ポリッシングプレート高剛性、耐薬品性により、長期の使用でも、良好な表面状態が維持できます。 |
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SiC製ポリッシングプレートより高熱伝導、低熱膨張を追求したポリッシングプレート |
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研磨布ドレッシングプレート優れた耐摩耗性があり、条件に合わせた微小突起加工が可能です。 |
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搬送アーム真空吸着タイプ、テフロン等のコーティングが製作可能です。 |
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