ファインセラミックス
セラミックスの材料

窒化アルミ AlN

高い熱伝導率と電気絶縁性を持った材料です
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窒化アルミは、高い熱伝導率と電気絶縁性をもち、半導体製造装置用部品をはじめとする放熱部品や均熱部品に採用されています。

重要な特性:
熱伝導性
耐摩耗性

特性

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これらの値はテストピースの測定による参考値です。特性値は製品の形状や使用条件により異なる場合があります。
(注1)密度は見掛密度、かさ密度、共に記載の値となります。ただし、多孔質材料についてはかさ密度の値となります。

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製品事例

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