窒化アルミニウムに関連する製品一覧

窒化アルミニウムについて

(電気)絶縁性が高く、熱伝導率が良好な材料であり、放熱性が求められる部品として、また線膨張係数がSiに近く、耐薬品性も高いため、半導体製造装置用の部品として多く採用されています。

(あいうえお順)

  • 写真
  • 製品名・部品名/説明文
  • 特長
  • 用途(役割)
写真:リンク先:静電チャック

静電チャック

高純度で、優れた耐プラズマ性と着脱応答性を有し、幅広い温度域に対応します。
  • 耐プラズマ性
  • ウエハ固定/矯正/冷却
写真:リンク先:セラミックヒーター

セラミックヒーター

高純度で、優れた耐プラズマ性と均熱性を有します。
  • 耐プラズマ性
  • 高熱伝導性
  • 均熱性
  • ウエハ加熱用ヒーター

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