炭化珪素に関連する製品一覧

炭化珪素について

SiCを主成分とし、1400℃という高温下でも強度を保つ炭化珪素セラミックスはファインセラミックスの中でも高い耐食性を備え、メカニカルシールやポンプ部品に使用されています。

(あいうえお順)

  • 写真
  • 製品名・部品名/説明文
  • 特長
  • 用途(役割)
写真:リンク先:SiC製ポリッシングプレート

SiC製ポリッシングプレート

より高熱伝導、低熱膨張を追求したポリッシングプレート
  • 高熱伝導性
  • 低熱膨張
  • 高ヤング率
  • 均熱性
  • 耐薬品性
  • ウエハ固定治具
写真:リンク先:研磨布ドレッシングプレート

研磨布ドレッシングプレート

優れた耐摩耗性があり、条件に合わせた微小突起加工が可能です。
  • 耐久性
  • Hv=5000
  • ドレッシングツール
写真:リンク先:ゴミ焼却炉用熱交換機伝熱管

ゴミ焼却炉用熱交換機伝熱管

優れた耐熱性、耐食性、高熱伝導率を有するSiC伝熱管です。
  • 耐熱性
  • 耐食性
  • 高熱伝導性
  • 熱回収/ラジアントチューブ
写真:リンク先:真空チャック、ステージ一体型ミラー、ステージ部品

真空チャック、ステージ一体型ミラー、ステージ部品

高純度と優れた耐薬品性の搬送部品。使用条件に合わせ、様々な表面形状が可能です。
  • 高精度
  • 低熱膨張
  • 高剛性
  • ウエハ保持/運搬
写真:リンク先:搬送アーム

搬送アーム

真空吸着タイプ、各種コーティングが製作可能です。
  • 高温耐久
  • ウエハ運搬
写真:リンク先:フォーセット·バルブ

フォーセット·バルブ

優れた耐摩耗性とシール性を有した混合栓用フォーセットバルブです。
  • 耐摩耗性
  • 耐薬品性
  • バルブ
写真:リンク先:放熱構造セラミック基板

放熱構造セラミック基板

接着剤不使用で長期信頼性に優れる一体型セラミック基板
  • 高効率熱交換
  • 接合技術
  • 耐薬品性
  • 形状自由度
  • 高温耐久
  • 発熱体冷却・温調用部材
  • 熱交換機用部材
  • マニフォールド
  • マイクロリアクター

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