ファインセラミックス

イットリアに関連する製品一覧

イットリアについて

耐プラズマ性に優れた材料であり、半導体製造装置用部品に求められるパーティクル·不純物汚染低減のご要求に対し、効果を発揮します。また、部品の交換頻度を減らすことが出来ることにより、生産性向上に寄与します。