展示会概要
セミコン・ジャパンは、世界最大級の半導体を中心としたマイクロエレクトロニクスの製造を支える装置・材料産業の総合展示会です。 


日程 12月7日(水)−9日(金)
場所 幕張メッセ ブース HALL3 3C-907
京セラの出展概要
本年は、「次世代大型部品」、「環境・エネルギー」をテーマとして、φ450mmウエハの実用化を見据えた、対応する大型ファインセラミック部品や、環境の負荷低減/浄化、省エネルギー/エネルギー利用の効率化に寄与する技術や製品を展示しました。京セラブースにご来場頂き、誠にありがとうございました。
出展製品
《 φ450mmウエハ対応、各種大型部品 》
■ リング、ライナー、搬送アーム 【NEW】
■ ポーラスチャック
《 環境・エネルギー関連部品 》
(第37回優秀環境装置表彰「経済産業大臣賞」受賞
株式会社タクマ様、京セラ共同開発品)
■高熱伝導窒化珪素製ヒーターチューブ 【NEW】
■セラミックス中空体 【参考出展】
(炭化珪素(SiC)セラミックス)
関連情報
会場ブース位置





