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リフトピン

高純度サファイアの特性を活かしたリフトピン

京セラのサファイアは、高純度(99.99%)で、優れた耐プラズマ性、耐熱性があり、パーティクルの発生が抑えられる為、装置の構成部材、治具など様々な半導体製造装置部品に採用されています。

特性

  • 耐熱性
  • 耐プラズマ性
  • 低誘電損失

製品データ

材質
単結晶サファイア
精度
標準寸法公差(mm. 呼び寸法:a)
1>a :±0.05
1≦a≦4 :±0.1
4<a≦25 :±0.2
25<a≦102 :±0.25
102<a≦190 :±0.5
190<a :±1

用途

  • 治具

  • リフトピン

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専門の担当者がご質問を承ります。お気軽にご相談ください。

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080-6202-8600
受付時間 9:00~17:00(弊社営業日)
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