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ポリッシングプレート

高純度セラミックス採用により
優れた高硬度·耐摩耗性を実現

ウェハの研磨加工において、高純度セラミックスを採用することにより、高硬度と優れた耐摩耗性が得られ、長期の使用において、良好な表面状態が維持できます。

特性

  • 高硬度
  • 耐摩耗性

製品データ

材質
アルミナ
形状
面は、凸、凹、フラット形状の対応が可能。
サイズ
MAXφ40"
精度
平坦度1μm以下

用途

  • ウエハ固定治具

専門の担当者がご質問を承ります。お気軽にご相談ください。

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080-6202-8600
受付時間 9:00~17:00(弊社営業日)
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