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SiC製ポリッシングプレート

熱による変形を低減。耐薬品性に優れ様々な表面形状加工に対応

高熱伝導率、低熱膨張係数、高ヤング率を有し均熱性に優れ、熱によるプレート自体の変形を極めて小さく抑えることを可能にした 枚葉式ポリッシングプレートです。耐薬品性にも優れ、プレート表面形状加工についても凹形状、フラット、凸形状と様々な形状に加工が可能です。

特性

  • 高ヤング率
  • 低熱膨張
  • 高熱伝導性
  • 耐薬品性
  • 均熱性

製品データ

材質
炭化珪素(SiC)
形状
面は、凸、凹、フラット形状の対応が可能。
サイズ
MAXφ30"
精度
平坦度1μm以下

用途

  • ウエハ固定治具

専門の担当者がご質問を承ります。お気軽にご相談ください。

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080-6202-8600
受付時間 9:00~17:00(弊社営業日)
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