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真空チャック、ステージ一体型ミラー、ステージ部品

使用条件に合った様々な表面加工が可能な高精度真空チャック

高精度で複雑な表面加工を施した精密セラミック真空チャックは、ウェハー保持、運搬など様々なプロセスに対応しています。

特性

  • 高剛性
  • 高精度
  • 低熱膨張

製品データ

材質
アルミナ、炭化珪素、 ポーラス材、コージライト
形状
複雑な表面加工
サイズ
φ200/300mm装置用
精度
ミラー面精度 λ/20 以下
反射率 95%以上
特殊加工
PVD、CVDコート、ミラーコート接合技術

用途

  • ウエハ保持/運搬

専門の担当者がご質問を承ります。お気軽にご相談ください。

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080-6202-8600
受付時間 9:00~17:00(弊社営業日)
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