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静電チャック

高い耐プラズマ性に加え
幅広い温度環境にも力を発揮

セラミックスの間に内部電極を形成し、一体焼結したもので、その表面に置かれた導体あるいは半導体からなるSiウェハとの間に発生する静電気力を利用するものです。半導体プロセスにおけるシリコンウェハの固定·矯正·冷却などの目的に用いられます。

特性

  • 耐プラズマ性

製品データ

材質
アルミナ、窒化アルミニウム
サイズ
φ200/300mm装置用

用途

  • ウエハ固定/矯正/冷却

専門の担当者がご質問を承ります。お気軽にご相談ください。

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080-6202-8600
受付時間 9:00~17:00(弊社営業日)
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