搬送アーム

画像:搬送アーム

高機能化にも対応する高温耐久の
ダメージレス搬送アーム。

高温耐久のダメージレス搬送アームです。さらに、摺動相手材へのダメージの緩和、不純物の拡散防止などの高機能化の為、DLC(Diamond Like Carbon)などのコーティングをセラミック表面に被膜することも可能です。

特性

  • 高温耐久
試作、単品、小ロットでのご相談から、
カスタム仕様の量産品まで承っております。
ページに記載されたスペック以外の仕様をご希望の場合もお気軽にご相談ください。

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  • 製品データ

製品データ

材質 アルミナ、炭化珪素
サイズ φ200/300mm装置用
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半導体製造装置用セラミックス製品(PDF/約2MB)PDF

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