高温耐久のダメージレス搬送アームです。さらに、摺動相手材へのダメージの緩和、不純物の拡散防止などの高機能化の為、DLC(Diamond Like Carbon)などのコーティングをセラミック表面に被膜することも可能です。
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半導体製造装置用セラミックス製品(PDF/約2MB)
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