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搬送アーム

高機能化にも対応する高温耐久の
ダメージレス搬送アーム

高温耐久のダメージレス搬送アームです。さらに、摺動相手材へのダメージの緩和、不純物の拡散防止などの高機能化の為、DLC(Diamond Like Carbon)などのコーティングをセラミック表面に被膜することも可能です。

特性

  • 高温耐久

製品データ

材質
アルミナ、炭化珪素
サイズ
φ200/300mm装置用

用途

  • ウエハ運搬

専門の担当者がご質問を承ります。お気軽にご相談ください。

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080-6202-8600
受付時間 9:00~17:00(弊社営業日)
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