特長 |
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- 高信頼性:温度サイクル試験1000サイクル(-65℃〜+150℃)後の気密性試験で合格(N=5個、京セラ試験)
- 0.15〜0.3mm厚みの銅板(体積固有抵抗:1.7µ
・cm、熱伝導率:394W/mK)
- 窒化珪素セラミックス(抗折強度:850MPa、破壊靭性:5.0MPam1/2、熱伝導率:58W/mK)
- 銅板と窒化珪素セラミックスを活性金属法で接合した積層構造(図2)
- 銅埋め込みビアで上下の銅回路間を導通し、三次元多層導体配線を実現(図1)
多層構造による低インダクタンス化が可能
- 小型化・薄型化・軽量化
- ネジ締め可能
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