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研磨基板

タイトな厚み公差と平坦度、優れた平滑性を持つ研磨基板

アルミナ99.6%の京セラの薄膜用研磨基板は、優れた表面状態を有しており、タイトな厚み公差、平坦度を可能にしました。

特性

  • 優れた平坦度

製品データ

材質
アルミナ
サイズ
外径:Max 120mm×120mm
厚み:標準 0.25mm、0.38mm、0.635mm
精度
厚み公差:±0.02mm(3"未満) ±0.05mm(3"以上)

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E-mail
webmaster.fc@kyocera.jp