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気密端子(同軸端子)

放射光 · 核関連から産業用装置まで幅広い分野で活用

気密端子は、ハーメチックシールなどとも呼ばれ、主にチャンバー内外の信号や電流の導入口として使用されています。京セラは放射光 · 航空宇宙などの超高真空環境下で、長年の経験を蓄積したセラミック -金属接合技術による、各種コネクターを取り揃えています。汎用の同軸コネクターの仕様に適合した標準品です。放射光·核融合などの科学技術関連装置をはじめとして、半導体製造装置などの産業用製造装置まで、幅広いアプリケーションでご使用頂いております。

標準品を取り揃えております、詳細は「超高真空用部品」カタログをご覧ください。 フランジ付、また、プラグ · ピンなどの周辺部品も合わせてお問い合わせ下さい。

特性

  • 気密性
  • 接合技術

製品データ

材質
メタライズ部品
気密性
1.3×10-10 Pa·m3/s
温度
低温温度:-196℃ 高温温度:450℃
* 弊社での基礎評価、判定基準に基づいた参考値です。製品の形状や使用状況により異なる場合があります。

特長

製品バリエーション

グランドシールド

一般的な気密端子です。

フローティングシールド

端子部分をフランジ等の取り付け部分から完全に独立させ、周囲の環境による影響( ノイズ等)を受けにくい構造の気密端子です。

用途

  • 理化学・分析装置

  • 真空装置

  • 半導体製造装置

  • 科学技術関連装置

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E-mail
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