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ドーム · チャンバー

耐久性に優れた高純度材使用して
確かな耐プラズマ性を発揮

300mmウエハに対応し、優れた耐プラズマ性と装置性能を引き出すセラミック製チャンバー及びドームをご提供しています。

特性

  • 電気的均一性
  • 耐プラズマ性

製品データ

材質
アルミナ
形状
複雑形状の対応が可能
サイズ
φ200/300mm装置用

用途

  • チャンバー部品

ファインセラミックス部品専用はこちら

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E-mail
webmaster.fc@kyocera.jp