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静電チャック
高い耐プラズマ性に加え、幅広い温度環境にも力を発揮
セラミックスの間に内部電極を形成し、一体焼結したもので、その表面に置かれた導体あるいは半導体からなるSiウェハーとの間に発生する静電気力を利用するものです。半導体プロセスにおけるシリコンウェハーの固定·矯正·冷却などの目的に用いられます。
- キーワード：
- 耐プラズマ性
製品データ
用途例
- ウェハー固定 ⁄ 矯正 ⁄ 冷却
セラミックスの間に内部電極を形成し、一体焼結したもので、その表面に置かれた導体あるいは半導体からなるSiウェハーとの間に発生する静電気力を利用するものです。半導体プロセスにおけるシリコンウェハーの固定·矯正·冷却などの目的に用いられます。
