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セラミックヒーター

高熱伝導率と耐プラズマ性を活かした
高性能加熱用ヒーター

窒化アルミニウムの持つ耐プラズマ性、高熱伝導性を活かした、プロセスチャンバ内で使用されるウェハ加熱用ヒーターです。99.9%以上の高純度と均熱性を両立させています。

特性

  • 高熱伝導性
  • 耐プラズマ性
  • 均熱性

製品データ

材質
窒化アルミニウム
サイズ
φ200 ⁄ 300mm装置用

用途

  • ウエハ加熱用ヒーター

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E-mail
webmaster.fc@kyocera.jp