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研磨基板
タイトな厚み公差と平坦度、優れた平滑性を持つ研磨基板
アルミナ99.6%の京セラの薄膜用研磨基板は、優れた表面状態を有しており、タイトな厚み公差、平坦度を可能にしました。
- キーワード:
- 優れた平坦度
製品データ
材質 | アルミナ |
---|---|
サイズ | 外径:Max 120mm×120mm 厚み:標準 0.25mm、0.38mm、0.635mm |
精度 | 厚み公差:±0.02mm(3"未満)、±0.05mm(3"以上) |
アルミナ99.6%の京セラの薄膜用研磨基板は、優れた表面状態を有しており、タイトな厚み公差、平坦度を可能にしました。
材質 | アルミナ |
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サイズ | 外径:Max 120mm×120mm 厚み:標準 0.25mm、0.38mm、0.635mm |
精度 | 厚み公差:±0.02mm(3"未満)、±0.05mm(3"以上) |