セラミックスの材料
単結晶YAG Y3Al5O12
耐プラズマ性に優れるとともに、光透過性を有する材料です
単結晶YAGは、耐プラズマ性に優れるとともに、光透過性を有します。半導体の製造プロセスで使用されます。
- 重要な特性：
- 耐プラズマ性
- 光透過性
製品事例
カスタム対応
材料技術・プロセス技術・設計技術・計測/評価技術などの幅広い技術と、材料から製品までの一貫工程を自社に保有しているため、様々なカスタマイズに対応可能です。まずはお気軽にお問い合わせください。
