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搬送用吸着ノズル（ESD対策品）
静電気拡散性を持つジルコニア材料を採用し、静電気による付着や静電破壊を防止
高性能化・高精細化が進んでいる電子デバイスの製造工程において、近年ますます静電気対策（ESD対策）への要求が高まっています。京セラは電子デバイスの搬送に用いられる吸着ノズルに、静電気拡散性を持ったジルコニア材料を採用することで、静電破壊対策や、帯電による製品の付着対策のご要望にお応えします。また、表面抵抗値を下げながらも、ジルコニア材料ならではの強度の高さを兼ね備えており、優れた耐摩耗性を有します。
- キーワード：
- ESD対策
- 耐摩耗性
製品データ
| 材料 | ESD対策ジルコニア |
|---|---|
| 形状 | 微細・複雑形状品の量産対応が可能（下記参照） |
特長
ノズル先端形状・寸法例
- 材料コード：Z21H12 or Z21H14 による製作例です。（材料特性は下記参照）
- 上記以外の形状も対応可能です。お気軽にお問い合わせください。
- 丸穴形状品については、研磨加工にてΦ0.020±0.003の高精度加工も可能です。
- 金属パーツとの導電接着も対応可能です。（詳細は下記参照）
材料特性データ
※社内測定結果に基づく代表値になります。
導電性接着技術
材料の帯電性や電荷移動速度はその表面抵抗に依存しており、一般的に半導通材料は帯電しにくい性質ですが、帯電した場合は、静電破壊の可能性が生じます。当社では、独自の導電性接着技術（※）及び長年の経験による金属アッセンブリが可能で、様々な静電気課題を解決しています。
※2022年8月25日現在。京セラ調べ
用途例
- 各種小型電子部品の搬送
- 検査装置の搬送部
