組立用装置(ダイシング・ボンディング)

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真空チャック、ステージ一体型ミラー、ステージ部品

高純度と優れた耐薬品性の搬送部品。使用条件に合わせ、様々な表面形状が可能です。
  • 高剛性
  • 高精度
  • 低熱膨張
  • ウエハ保持 ⁄ 運搬

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