ファインセラミックス
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サファイア基板

基板の薄型化や大型化、レーザー加工で複雑・微細・高精度な加工も対応可能
サファイア基板

京セラのサファイア基板(サファイアウェハー、サファイアウエハ)は、丸状、角状の基板の加工や、厚さ0.03mmまでの薄型化、最大Φ500mm (or 500角) の大型化に対応しています。
その他、レーザーによる穴加工やスクライブ加工などの複雑な加工も対応可能です。
※面方位によって対応可能サイズは異なります。

キーワード:
耐熱性
耐プラズマ性
低誘電損失

製品データ

材料 単結晶サファイア

基板標準仕様

基板標準仕様の表・丸形状のサファイア基板・角形状のサファイア基板

基板加工技術

基板薄型化加工

サファイアは単結晶材料のため、0.1mm未満まで薄くしても基板として活用可能で、また、薄くすることで、弾性変形を活用することもできます。

基板薄肉化加工のデザインガイド・基板薄肉化加工を施したサファイア基板

基板大型化

基板大型化のデザインガイド・大型サファイア基板の加工例

※対応可能サイズは面方位や厚みに応じて変わるため、詳細についてはご相談ください。

レーザー加工

レーザー加工のデザインガイド・加工例のイラスト・レーザーで穴加工を行っている様子歯車形状に微細加工されたサファイア基板・穴加工のサイズ例・多数の孔があけられたサファイア基板

その他の加工技術

スクライブ加工

スクライブ加工のイラスト

ビア埋め

ビア埋めの断面

京セラ製サファイア基板の強み

基板に求められる特性と、京セラ製サファイアの強み

サファイアの特徴

1.単結晶で原子配列が一定


2.粒界がなく表面仕上げが滑らか

アルミナとサファイアの表面状態比較

3.高い絶縁性で誘電損失が低い


4.任意の結晶方位の対応が可能

対応可能面方位の紹介

各面方位の特性と主な用途紹介

他材料との物性比較

サファイアと他材料の物性比較表

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