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半導体製造装置用部品

半導体製造装置用部品

配線の微細化、多層化が進む半導体製造装置にセラミックスが広く採用されています。露光装置には、軽量高剛性なセラミックス、エッチングや成膜装置には、耐プラズマ性や低パーティクルに加え、耐熱性や、低誘電損失の特性をもつセラミックスの採用が拡大しています。ウェハー搬送アームでは、高精度で機械的特性の優れたセラミックスが採用されています。また、光透過性が必要な窓やウェハーキャリアプレート、ウェハーコンタクトリフトピン、プラズマ導入管などに、サファイアが使用されています。

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材料技術・プロセス技術・設計技術・計測/評価技術などの幅広い技術と、材料から製品までの一貫工程を自社に保有しているため、様々なカスタマイズに対応可能です。まずはお気軽にお問い合わせください。
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