THE NEW VALUE FRONTIER
ファインセラミックス
製品を探す

静電チャック

高い耐プラズマ性に加え、幅広い温度環境にも力を発揮
静電チャック

セラミックスの間に内部電極を形成し、一体焼結したもので、その表面に置かれた導体あるいは半導体からなるSiウェハーとの間に発生する静電気力を利用するものです。半導体プロセスにおけるシリコンウェハーの固定·矯正·冷却などの目的に用いられます。

キーワード:
耐プラズマ性

製品データ

材質 アルミナ窒化アルミ
サイズ φ200 ⁄ 300mm装置用

用途例

  • ウェハー固定 ⁄ 矯正 ⁄ 冷却

関連業界・製品

お問い合わせ