セラミックスの材料
コージライト 2MgO·2Al2O3·5SiO2
極めて低い熱膨張係数を有し、温度変化による寸法変化が小さい材料です
コージライト（コーディエライト、コージェライト）は熱膨張係数が非常に小さく、ガラス系材料に比べて高い比剛性を有しています。その特性を活かして半導体製造装置の構造部品に使用されています。高い平滑性を得られることからミラーとしても使用できるため、天文・宇宙分野では、様々な波長の光を観測したり、光を使った通信等へ応用したりと、複数のコージライト部品を組み立てた光学システムとして使用されています。
- 重要な特性：
- 熱膨張率
- 耐熱衝撃性
特徴
低熱膨張率
コージライトは、特に室温において低熱膨張の材料です。
※下表のCO220Oの面状態及び強度を向上した材料としてCO720Oもございます。
低熱膨張を意識した材料との比較
コージライトは軽量でありながら、ヤング率にも優れます。
これらの値はテストピースの測定による参考値であり、特性値は製品の形状や使用条件により異なる場合があります（京セラ調べ）。
京セラ製コージライト以外の材料の数値は各社公表カタログデータを参照しております。
京セラ製コージライト以外の材料の数値は各社公表カタログデータを参照しております。
製品例
半導体製造装置用ステージチャック
・熱膨張率の低い緻密体コージライト採用により温度変化に伴う変形を抑制。
・ガラス製品と比較して剛性に優れるため構造材料としての使用が可能。
特性
製品事例
カスタム対応
材料技術・プロセス技術・設計技術・計測/評価技術などの幅広い技術と、材料から製品までの一貫工程を自社に保有しているため、様々なカスタマイズに対応可能です。まずはお気軽にお問い合わせください。
