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真空・高電圧関連
真空・液体・ガス環境など、大気中とは異なる環境で製造や実験を行うために使用される密閉容器（チャンバー）に、京セラのメタライズ部品が採用されています。信号や電流・電圧の出し入れを行うための気密端子や、チャンバー内部の様子を観察するためのサファイア窓に広く採用されています。
製品事例
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チャンバー用サファイア窓耐プラズマ性、耐熱性などにより、様々な半導体製造装置部品に採用されています。- 耐熱性
- 耐プラズマ性
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気密端子（多ピン端子）セラミックス-金属の接合技術による、各種マルチピンコネクター標準品を取り揃えています。- 気密性
- 接合技術
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気密端子（同軸端子）セラミック-金属の接合技術による、各種同軸コネクター標準品を取り揃えています。- 気密性
- 接合技術
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絶縁継手（絶縁フランジ）絶縁フランジは、「核融合実験」のLHD大型ヘリカル装置をサポートしています。- 気密性
- 接合技術
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電流導入端子（フィードスルー）セラミック-金属接合部品で最も広く用いられている電流導入端子を提供しています。- 気密性
- 接合技術
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真空気密メタライズ封止サファイア窓超高真空に優れたサファイア·ウィンドウを提供してます。- 気密性
- 接合技術
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セラミックチャンバー主要な高エネルギー物理学プロジェクトの中で世界的に実用されています。- 気密性
- 接合技術
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ビーム · ポジション · モニター放射光施設等に使用され、様々な加速器をサポートしています。- 気密性
- 接合技術
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高周波窓用セラミックス（RFウィンドウ）ジャイロトロンとクライストロンのためのSiN(SN287)RFウインドウを提供しています。- 気密性
- 接合技術
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D-sub セラミック真空気密端子（ロウ付け接合品）超高真空用途で使用可能なセラミックスによるD-sub 真空気密端子- 絶縁性
- 気密性
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特殊ロウ付け接合品（アルミニウム金具 / 非磁性金属）アルミニウム金具や非磁性金属へのロウ付けが可能- 高熱伝導性
- 絶縁性
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液体水素対応ロウ付け接合品－253℃の液体水素環境下で使用可能なロウ付け接合品- 絶縁性
- 気密性
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セラミック絶縁筒（メタライズチューブ）絶縁耐力の高いメタライズ付セラミック部品を安定的に供給します。- 絶縁性
- 気密性
カスタム対応
材料技術・プロセス技術・設計技術・計測/評価技術などの幅広い技術と、材料から製品までの一貫工程を自社に保有しているため、様々なカスタマイズに対応可能です。まずはお気軽にお問い合わせください。
