セラミックスの材料
YAG分散アルミナ
アルミナ同等の強度と、アルミナより高い耐プラズマ性を有する材料です
YAG分散アルミナは耐プラズマ性の高い材料を含んだAl2O3主体の材料です。
Al2O3と同等の強度を持つためハンドリング性に優れ、耐プラズマ性はAl2O3よりも優れています。
*YAG：Y3Al5O12イットリウム・アルミニウム・ガーネット
- 重要な特性：
- 耐プラズマ性
- 強度
特性
製品事例
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