セラミックスの材料
炭化ケイ素 SiC
軽量で耐食性が高く、優れた耐熱材料です
炭化ケイ素はファインセラミックスの中で最も高い耐薬品性と硬度を備えます。中でも、固相焼結炭化ケイ素は1400度でも強度劣化の無い優れた耐熱材料です。更にその摺動性の高さからメカニカルシールやポンプ部品に、高い熱伝導率と半導通の特性から半導体製造装置部品や一般産業機械部品など幅広い業界で使用されています。
- 重要な特性：
- 耐薬品性
- 高温強度
- 半導通性
特徴
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セラミック材料の中で、最も高い耐薬品性と硬度化学的にも物理的にも大変安定しており、高硬度であり、かつ高い耐薬品性を有しています。
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優れた高温強度高温下で強度の低下が小さい材料です。（1400℃でも強度を保ちます）
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高い熱伝導性と半導通の特性を持つ他のセラミックスに比べ、極めて高い熱伝導率を有し、また半導電性であることが、大きな特徴です。
形状
機械加工による寸法精度
セラミックスに金属部品と同様な寸法制度の加工が要求される場合、下表のような公差まで加工しています。形状、寸法等、表で適用できない範囲は別途ご相談ください。
加工寸法精度（指示なき単位はmm）
1. セラミックブロックおよび板状の研磨品
2. 丸棒、角棒
精密加工品
京セラ独自の加工法により、さらに精密な加工も可能です。精密加工の精度は形状、材質に左右されるため、主な実施例を下表に示します。
※表目の粗さは材質によって異なります。ここではアルミナの例を示しています。
特性
製品事例
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放熱構造セラミック基板高剛性、耐薬品性により、長期の使用でも、 良好な表面状態が維持できます。- 形状自由度
- 高温耐久
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ゴミ焼却炉用熱交換機伝熱管優れた耐熱性、耐食性、高熱伝導率を有するSiC伝熱管です。- 耐熱性
- 高熱伝導性
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フォーセット · バルブ優れた耐摩耗性とシール性を有した混合栓用フォーセットバルブです。- 耐摩耗性
- 耐薬品性
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搬送アーム真空吸着タイプ、各種コーティングが製作可能です。- 高温耐久
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真空チャック、ステージ一体型ミラー、ステージ部品高純度と優れた耐薬品性の搬送部品。使用条件に合わせ、様々な表面形状が可能です。- 高剛性
- 高精度
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研磨布ドレッシングプレート優れた耐摩耗性があり、条件に合わせた微小突起加工が可能です。- 耐久性
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SiC製ポリッシングプレートより高熱伝導、低熱膨張を追求したポリッシングプレート。- 高ヤング率
- 低熱膨張
カスタム対応
材料技術・プロセス技術・設計技術・計測/評価技術などの幅広い技術と、材料から製品までの一貫工程を自社に保有しているため、様々なカスタマイズに対応可能です。まずはお気軽にお問い合わせください。
