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SiC製ポリッシングプレート

熱による変形を低減。耐薬品性に優れ、様々な表面形状加工に対応
SiC製ポリッシングプレート

高熱伝導率、低熱膨張係数、高ヤング率を有し、均熱性に優れ、熱によるプレート自体の変形を極めて小さく抑えることを可能にした枚葉式ポリッシングプレートです。耐薬品性にも優れ、プレート表面形状加工についても凸形状、凹形状、フラット形状と様々な形状に加工が可能です。

キーワード:
高ヤング率
低熱膨張
高熱伝導性
耐薬品性
均熱性

製品データ

材質 炭化珪素(SiC)
形状 面は、凸、凹、フラット形状の対応が可能
サイズ MAXφ30"
精度 平坦度1μm以下

用途例

  • ウェハー固定治具

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