セラミックスの材料
単結晶YAG Y3Al5O12
耐プラズマ性に優れるとともに、光透過性を有する材料です
単結晶YAGは、単結晶サファイアの機械的特性や化学的安定性の性質を持ちながら、耐プラズマ性にも優れた材料の一つです。同じく、耐プラズマ性に優れたイットリアは白色を呈しているのに対し、単結晶YAGは透明であるため透過率も高く、また、多結晶体のイットリアよりも単結晶体のYAGの方が、プラズマガス環境下において高い耐久性を有しているため、パーティクルの発生を低減できるのも特長です。
- 重要な特性：
- 耐プラズマ性
- 光透過性
- 絶縁性
- 耐薬品性
- 高剛性
特徴
耐プラズマ性
エッチング量による比較
※すべての数値は社内測定による参考値です。
※各プラズマガスの処理時間は4時間です。
表面状態による比較
※すべての数値は社内測定による参考値です。
※プラズマエッチング条件は、ガス種CF4、処理時間4時間です。
透過率
紫外域から可視光を超え、広帯域で高い透過率を有しています。
※これらの値はテストピースの社内測定による参考値です。特性値は製品の形状や使用条件により異なる場合があります。
形状
対応サイズ
窓・プレート・その他
ロッド・チューブ
用途例
単結晶サファイアよりも、さらに耐プラズマ性に優れているため、パーティクルの発生も少なく、主に半導体製造プロセスで用いられることが多いです。
特性
製品事例
カスタム対応
材料技術・プロセス技術・設計技術・計測/評価技術などの幅広い技術と、材料から製品までの一貫工程を自社に保有しているため、様々なカスタマイズに対応可能です。まずはお気軽にお問い合わせください。
