セラミックスの材料
イットリア Y2O3
プラズマ環境下で優れた耐食性を持つ材料です
イットリアは耐プラズマ性に優れた材料です。半導体製造装置などでプラズマを使用する製造工程の部品に求められるパーティクルや不純物汚染の低減に効果を発揮します。
- 重要な特性：
- 耐プラズマ性
- 耐食性
特性
製品事例
カスタム対応
材料技術・プロセス技術・設計技術・計測/評価技術などの幅広い技術と、材料から製品までの一貫工程を自社に保有しているため、様々なカスタマイズに対応可能です。まずはお気軽にお問い合わせください。
