セラミックスの材料
シリコン含浸反応焼結炭化ケイ素 SiSiC
高比剛性材料で、大型複雑形状品や中空体の製造に適します
SiCを基材としたSi含浸複合材料です。Siの含浸により気孔が少なくアウトガスの発生が抑えられます。SiCに準じた特徴を持つ高比剛性材料で、SiC より電気抵抗が低いため部品の除電が可能です。特殊な製造方法や反応焼結接合により大型複雑形状品や中空体の製造が容易で、半導体製造装置部品などに幅広く採用されています。
- 重要な特性：
- 剛性
- 大型複雑形状
- 中空体
特徴
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高い耐食性高温の使用温度下でも高い耐食性を有します。
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優れた高温強度高温下における強度の低下が小さい材料です。
カスタム対応
材料技術・プロセス技術・設計技術・計測/評価技術などの幅広い技術と、材料から製品までの一貫工程を自社に保有しているため、様々なカスタマイズに対応可能です。まずはお気軽にお問い合わせください。
