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耐プラズマ材料

次世代エッチング技術の向上に応える京セラの耐プラズマ材料
耐プラズマ材料

次世代プラズマエッチング技術においては、プラズマによる浸食、パーティクルの発生、金属汚染、酸素の解離などの課題があります。京セラは、次世代のエッチング技術を見据えた耐プラズマ材料をご提供します。

キーワード:
耐プラズマ性
低誘電損失

製品データ

材質 イットリアアルミナ
形状 複雑形状の対応が可能
サイズ φ200 ⁄ 300mm装置用

用途例

  • チャンバー部品

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