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サファイア製ハンドリングアーム
半導体製造装置部品に最適な耐プラズマ性と優れた耐熱性
京セラのサファイアは、高純度(99.99%)で、優れた耐プラズマ性、耐熱性があり、パーティクルの発生が抑えられるため、装置の構成部材、治具まど様々な半導体製造装置部品に採用されています。
- キーワード：
- 耐熱性
- 耐プラズマ性
- 低誘電損失
製品データ
| 材質 | 単結晶サファイア |
|---|---|
| 精度 | 標準寸法公差(mm、呼び寸法:a) 1>a :±0.05 1≦a≦4 :±0.1 4<a≦25 :±0.2 25<a≦102 :±0.25 102<a≦190 :±0.5 190<a :±1 |
用途例
- ウェハー搬送
