製品を探す
搬送アーム
高機能化にも対応する高温耐久のダメージレス搬送アーム
高温耐久のダメージレス搬送アームです。さらに、摺動相手材へのダメージの緩和、不純物の拡散防止などの高機能化のため、DLC(Diamond Like Carbon)などのコーティングをセラミック表面に被膜することも可能です。
- キーワード：
- 高温耐久
製品データ
用途例
- ウェハー運搬
高温耐久のダメージレス搬送アームです。さらに、摺動相手材へのダメージの緩和、不純物の拡散防止などの高機能化のため、DLC(Diamond Like Carbon)などのコーティングをセラミック表面に被膜することも可能です。
