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搬送アーム

高機能化にも対応する高温耐久のダメージレス搬送アーム
搬送アーム

高温耐久のダメージレス搬送アームです。さらに、摺動相手材へのダメージの緩和、不純物の拡散防止などの高機能化のため、DLC(Diamond Like Carbon)などのコーティングをセラミック表面に被膜することも可能です。

キーワード:
高温耐久

製品データ

材質 アルミナ炭化珪素
サイズ φ200 ⁄ 300mm装置用

用途例

  • ウェハー運搬

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