製品を探す
真空チャック、ステージ一体型ミラー、ステージ部品
使用条件に合った様々な表面加工が可能な高精度真空チャック
高精度で複雑な表面加工を施した精密セラミック真空チャックは、ウェハー保持、運搬など様々なプロセスに対応しています。
- キーワード：
- 高剛性
- 高精度
- 低熱膨張
製品データ
| 材質 | アルミナ、炭化珪素、 多孔体セラミックス（ポーラスセラミックス）、コージライト |
|---|---|
| 形状 | 複雑な表面加工 |
| サイズ | φ200 ⁄ 300mm装置用 |
| 精度 | ミラー面精度 λ ⁄ 20 以下 反射率 95%以上 |
| 特殊加工 | PVD、CVDコート、ミラーコート接合技術 |
用途例
- ウェハー保持 ⁄ 運搬
