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真空チャック、ステージ一体型ミラー、ステージ部品

使用条件に合った様々な表面加工が可能な高精度真空チャック
真空チャック、ステージ一体型ミラー、ステージ部品

高精度で複雑な表面加工を施した精密セラミック真空チャックは、ウェハー保持、運搬など様々なプロセスに対応しています。

キーワード:
高剛性
高精度
低熱膨張

製品データ

材質 アルミナ炭化珪素多孔体セラミックス(ポーラスセラミックス)コージライト
形状 複雑な表面加工
サイズ φ200 ⁄ 300mm装置用
精度 ミラー面精度 λ ⁄ 20 以下
反射率 95%以上
特殊加工 PVD、CVDコート、ミラーコート接合技術

用途例

  • ウェハー保持 ⁄ 運搬

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