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ドーム · チャンバー

耐久性に優れた高純度材を使用して、確かな耐プラズマ性を発揮
ドーム · チャンバー

300mmウエハに対応し、優れた耐プラズマ性と装置性能を引き出すセラミック製チャンバー及びドームをご提供しています。

キーワード:
電気的均一性
耐プラズマ性

製品データ

材質 アルミナ
形状 複雑形状の対応が可能
サイズ φ200/300mm装置用

用途例

  • チャンバー部品

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