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ドーム · チャンバー
耐久性に優れた高純度材を使用して、確かな耐プラズマ性を発揮
300mmウエハに対応し、優れた耐プラズマ性と装置性能を引き出すセラミック製チャンバー及びドームをご提供しています。
- キーワード：
- 電気的均一性
- 耐プラズマ性
製品データ
| 材質 | アルミナ |
|---|---|
| 形状 | 複雑形状の対応が可能 |
| サイズ | φ200/300mm装置用 |
用途例
- チャンバー部品
300mmウエハに対応し、優れた耐プラズマ性と装置性能を引き出すセラミック製チャンバー及びドームをご提供しています。
| 材質 | アルミナ |
|---|---|
| 形状 | 複雑形状の対応が可能 |
| サイズ | φ200/300mm装置用 |
