単結晶YAGのご紹介

要約

　物理的特性や化学的特性、幅広い波長の光に対する透過率の高さなど、単結晶サファイアに近い性質に加え、より優れた耐プラズマ性を備える「単結晶YAG」。代表的な用途の1つに、半導体製造プロセスがある。前工程で、シリコンウェハー上に微細な回路を作り込む際、プラズマを用いたエッチング加工が多用されているためだ。

　プラズマエッチングのチャンバー内に露出している部材に、耐プラズマ性の低い素材が使用されている場合、それらも同時に腐食されて微細な不純物が生じてしまう。そのため露出する部材には、耐プラズマ性に加えてパーティクルの発生が抑えられる素材を使っていることも重要になる。