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ポリッシングプレート

高純度セラミックス採用により、優れた高硬度 · 耐摩耗性を実現
ポリッシングプレート

ウェハ―の研磨加工において、高純度セラミックスを採用することにより、高硬度と優れた耐摩耗性が得られ、長期の使用において、良好な表面状態が維持できます。

キーワード:
高硬度
耐摩耗性

製品データ

材質 アルミナ
形状 面は、凸、凹、フラット形状の対応が可能
サイズ MAXφ40"
精度 平坦度1μm以下

用途例

  • ウェハー固定治具

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