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ポリッシングプレート
高純度セラミックス採用により、優れた高硬度 · 耐摩耗性を実現
ウェハ―の研磨加工において、高純度セラミックスを採用することにより、高硬度と優れた耐摩耗性が得られ、長期の使用において、良好な表面状態が維持できます。
- キーワード：
- 高硬度
- 耐摩耗性
製品データ
| 材質 | アルミナ |
|---|---|
| 形状 | 面は、凸、凹、フラット形状の対応が可能 |
| サイズ | MAXφ40" |
| 精度 | 平坦度1μm以下 |
用途例
- ウェハー固定治具
ウェハ―の研磨加工において、高純度セラミックスを採用することにより、高硬度と優れた耐摩耗性が得られ、長期の使用において、良好な表面状態が維持できます。
| 材質 | アルミナ |
|---|---|
| 形状 | 面は、凸、凹、フラット形状の対応が可能 |
| サイズ | MAXφ40" |
| 精度 | 平坦度1μm以下 |
