セラミック製ウェハーボート（ウェハーキャリア）

ウェハーの熱処理や成膜処理（バッチ処理）工程において、その性能を最大限に引き出すウェハーボートです。主要材料である高純度アルミナは、プロセス中に発生する熱や薬品、さらにはウェハー接触部の摩耗に対し、優れた耐性・耐久性を発揮します。アルミナのほか、炭化ケイ素やサファイアなど、お客様の多様なニーズに合わせて最適なファインセラミック材料をお選びいただけます。
また、分割構造を採用しているため、摩耗や損傷の生じた箇所のみを交換可能。これにより、運用コストの低減にも貢献します。