気密端子（同軸端子）

気密端子（同軸端子、ハーメチックシールとも呼ばれます）は、超高真空チャンバーと大気間における信号伝送や電流供給に不可欠なコンポーネントです。その用途は、半導体製造装置や理化学分析装置といった産業分野のみならず、フュージョンエネルギー、医療用放射線がん治療装置、大学・研究機関の先端加速器など、最先端の科学技術分野にも広がっています。 京セラは、長年培ってきた独自のセラミックー金属接合技術を駆使し、これらの多様な分野で求められる高信頼性の気密端子を開発・製造。汎用同軸端子仕様に適合した標準品も各種取り揃え、お客様の幅広いニーズにお応えします。

標準品の詳細は、カタログ「超高真空用部品」にて詳しくご案内しております。 フランジ付き製品や、プラグ・ピンなどの周辺部品についても、お気軽にお問い合わせください。