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気密端子(同軸端子)

放射光 · 核関連から産業用装置まで幅広い分野で活用
気密端子(同軸端子)

気密端子は、ハーメチックシールなどとも呼ばれ、主にチャンバー内外の信号や電流の導入口として使用されています。京セラは放射光 · 航空宇宙などの超高真空環境下で、長年の経験を蓄積したセラミック-金属接合技術による、各種コネクターを取り揃えています。汎用の同軸コネクターの仕様に適合した標準品です。放射光・核融合などの科学技術関連装置をはじめとして、半導体製造装置などの産業用製造装置まで、幅広いアプリケーションでご使用頂いております。

標準品を取り揃えておりますので、詳細は「超高真空用部品」カタログをご覧ください。 フランジ付、またプラグ · ピンなどの周辺部品も合わせてお問い合わせ下さい。

キーワード:
気密性
接合技術

製品データ

材質 メタライズ部品
気密性 1.3×10-10 Pa·m3/s
温度 低温温度:-196℃ 高温温度:450℃
* 弊社での基礎評価、判定基準に基づいた参考値です。製品の形状や使用状況により異なる場合があります。

特長

製品バリエーション

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グランドシールド

一般的な気密端子です。

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フローティングシールド

端子部分をフランジ等の取り付け部分から完全に独立させ、周囲の環境による影響(ノイズ等)を受けにくい構造の気密端子です。

064_03.png

用途例

  • 理化学・分析装置
  • 真空装置
  • 半導体製造装置
  • 科学技術関連装置

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