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気密端子(同軸端子)

半導体製造装置等の産業分野からフュージョンエネルギー等の先端科学まで、多彩な領域で活躍
気密端子(同軸端子)

気密端子(同軸端子、ハーメチックシールとも呼ばれます)は、超高真空チャンバーと大気間における信号伝送や電流供給に不可欠なコンポーネントです。その用途は、半導体製造装置や理化学分析装置といった産業分野のみならず、フュージョンエネルギー、医療用放射線がん治療装置、大学・研究機関の先端加速器など、最先端の科学技術分野にも広がっています。 京セラは、長年培ってきた独自のセラミックー金属接合技術を駆使し、これらの多様な分野で求められる高信頼性の気密端子を開発・製造。汎用同軸端子仕様に適合した標準品も各種取り揃え、お客様の幅広いニーズにお応えします。

標準品の詳細は、カタログ「超高真空用部品」にて詳しくご案内しております。 フランジ付き製品や、プラグ・ピンなどの周辺部品についても、お気軽にお問い合わせください。

キーワード:
気密性
接合技術

製品データ

材質 メタライズ部品
気密性 1.3×10-10 Pa·m3/s
温度 低温温度:-196℃ 高温温度:450℃
* 弊社での基礎評価、判定基準に基づいた参考値です。製品の形状や使用状況により異なる場合があります。

特長

製品バリエーション

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グランドシールド

一般的な気密端子です。

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フローティングシールド

端子部分をフランジ等の取り付け部分から完全に独立させ、周囲の環境による影響(ノイズ等)を受けにくい構造の気密端子です。

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用途例

  • 理化学・分析装置
  • 真空装置
  • 半導体製造装置
  • 科学技術関連装置

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