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半導体製造装置用 セラミックヒーター
高熱伝導率と耐プラズマ性を活かした高性能加熱用ヒーター
窒化アルミニウムの持つ耐プラズマ性、高熱伝導性を活かした、プロセスチャンバ内で使用されるウェハー加熱用ヒーターです。99.9％以上の高純度と均熱性を両立させています。
- キーワード：
- 高熱伝導性
- 耐プラズマ性
- 均熱性
製品データ
| 材質 | 窒化アルミ |
|---|---|
| サイズ | φ200 ⁄ 300mm装置用 |
用途例
- ウェハー加熱用ヒーター
窒化アルミニウムの持つ耐プラズマ性、高熱伝導性を活かした、プロセスチャンバ内で使用されるウェハー加熱用ヒーターです。99.9％以上の高純度と均熱性を両立させています。
| 材質 | 窒化アルミ |
|---|---|
| サイズ | φ200 ⁄ 300mm装置用 |
