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サファイアロッド
高強度、高耐熱、高耐食のサファイアロッド。研磨加工／段加工／金具アッセンブルに対応
高強度、高耐熱、高耐食のハイパフォーマンス材料である単結晶サファイアを、ロッド形状に加工。京セラが約50年に及ぶ単結晶サファイア製造事業を通して培ってきた、優れた表面研磨技術に、段加工、金具アッセンブルなどの応用技術を加えることで、高精度・高い耐久性を求められる半導体製造装置や、分析機器の部品として活躍の幅を広げています。
- キーワード：
- 高純度
- 耐熱性
- 耐プラズマ性
- 高強度
製品データ
| 材料 | 単結晶サファイア |
|---|
デザインガイド
特長
優れた材料特性(強度、硬度、耐熱)で長寿命
プラズマ、腐食性ガスに対する耐性が高く、装置内での発塵を抑制
研磨・段加工・金具アッセンブル等、豊富な加工技術で様々な形状・仕上げが可能
特性比較
単結晶サファイアは、空孔や粒界がなく高純度な単結晶体のため、同じ元素であるAl2O3の多結晶体アルミナより、優れた機械的特性、化学的安定性を有します。
用途例
半導体製造装置用リフトピン：
耐熱性、耐プラズマ性、耐腐食性(フッ素/塩素系ガスに対して)、高純度、パーティクルレス等のサファイア特性を活かし、半導体製造装置内のサファイアリフトピンとして活躍しています。
理化学分析機器用プランジャー：
研削痕の少ない面仕上げが可能で、面粗度のばらつきが小さいため、高耐久でリークが少ないプランジャーとして活躍しています。
また、圧入による接着剤不使用での接合技術を持ち合わせているため、金具をアッセンブルした状態での納入にも対応しております。
※特性、用途例に記載した数値は参考値となります。
