優れた耐プラズマ性・耐薬品性を備えた透明駆体（サファイア＋サファイア）

接着剤を用いないサファイア一体接合のため、プラズマ環境下や薬品にさらされる過酷な環境下でも、サファイアの持つ優れた耐プラズマ性 / 耐薬品性 / 耐熱性 / 機械的強度を維持できます。
また、接合面が見えないため、透過性が必要な場所にもお使いいただけます。

サファイアの耐薬品性

石英やアルミナと比べて、薬品に浸けたときの減少量を極めて小さく抑えられます。

サファイアの耐プラズマ性

フッ素系ガスと塩素系ガスのいずれのプラズマ環境下でも、高い耐久性を有します。※研磨表面で測定

サファイアの透過特性

幅広い波長域で安定した透過率を持ちます。

※これらの値はテストピースの社内測定による参考値です。特性値は製品の形状や使用条件により異なる場合があります。

高い気密性を有したサファイア＋アルミナ接合体

接着剤不使用のため、接合部からの不純物やパーテイクルの発生を少なく抑えられます。また、接着剤不使用でありながら接合強度に優れているため、気密性が求められる場所での使用が可能です。
サファイア＋アルミナの接合体にすることで、透過性が必要な箇所だけにサファイアを用いるといった組み合わせも可能です。

気密性