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ファインセラミックス

アルミナ・サファイア直接接合

アルミナ・サファイア直接接合

特長

  • アルミナ・サファイア一体物での複雑形状品の製作が可能
  • 接着剤不使用で、セラミックが持つ優れた耐熱性・耐薬品性・耐プラズマ性を維持
  • 接合界面が一体化した構造で、高い気密性と機械的強度を確保

Case 1

優れた耐プラズマ性・耐薬品性を備えた透明駆体(サファイア+サファイア)

接着剤を用いないサファイア一体接合のため、プラズマ環境下や薬品にさらされる過酷な環境下でも、サファイアの持つ優れた耐プラズマ性 / 耐薬品性 / 耐熱性 / 機械的強度を維持できます。
また、接合面が見えないため、透過性が必要な場所にもお使いいただけます。

形状サンプル

  • プラズマ発生管

    プラズマ発生管 (サイズ:φ100mm)
  • フローセル

    フローセル (サイズ:30×25mm)
  • 側面写真

    側面写真
  • 断面図 A-A'

    断面図 A-A' 接合部

サファイアの耐薬品性

石英やアルミナと比べて、薬品に浸けたときの減少量を極めて小さく抑えられます。

 

各薬品の24時間浸けた時の1㎤あたりの減少量を示したグラフ

サファイアの耐薬品性
 

薬品中に浸漬した時の減少量

薬品中に浸漬した時の減少量
測定条件

1 x 1 x 0.02 (インチ)
サファイア片を6日間浸漬

HCl :35% 20℃
HNO3 :50% 20℃
HF :46% 60℃
HF/HNO3 :40/10% 60℃
H3PO4 :60% 100℃
H2SO4 :95% 95℃
NaOH :30% 100℃

サファイアの耐プラズマ性

フッ素系ガスと塩素系ガスのいずれのプラズマ環境下でも、高い耐久性を有します。※研磨表面で測定

 

フッ素系ガス(SF6)プラズマ環境下でのエッチング量

フッ素系ガス(SF6)プラズマ環境下でのエッチング量
測定条件
装置 マグネトロン型RIE装置
圧力 25mTorr
気体流量 50sccm
RF 出力 600W
磁力 150gauss
Vdc 210V
時間 1時間
 

塩素系ガス(Cl2) プラズマ環境下でのエッチング量

塩素系ガス(Cl2) プラズマ環境下でのエッチング量
測定条件
装置 マグネトロン型RIE装置
圧力 25mTorr
気体流量 50sccm
RF 出力 600W
磁力 150gauss
Vdc 270V
時間 1時間

サファイアの透過特性

幅広い波長域で安定した透過率を持ちます。

 
サファイアの透過特性

Case 2

高い気密性を有したサファイア+アルミナ接合体

接着剤不使用のため、接合部からの不純物やパーテイクルの発生を少なく抑えられます。また、接着剤不使用でありながら接合強度に優れているため、気密性が求められる場所での使用が可能です。
サファイア+アルミナの接合体にすることで、透過性が必要な箇所だけにサファイアを用いるといった組み合わせも可能です。

接合面
サンプル

  • 接合面サンプル

    生化学分析装置内の測定用窓

    接合面サンプル

気密性

  • Heリーク試験にて10-9 Pa・m3/s以下の高い真空度の要求に対応
  • 接合界面が一体化した構造で、高い気密性と機械的強度を確保

SEM画像
(×100)

SEM画像 (×100)
SEM画像 (×100) SEM画像 (×100)

本ページに記載の数値は全て社内測定による代表値であり、製品の仕様を保証する値ではありません。

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