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サファイアチューブ
片封止や異形状の製作、穴加工も対応可能

空孔や粒界がない高純度な単結晶体のサファイアは、多結晶体のアルミナより優れた機械的特性と、化学的安定性を持っています。耐薬品性や耐プラズマ性が優れていることから低パーティクル化を図ることができるサファイアチューブは、半導体製造装置用部品に用いられることが多いですが、光透過性や耐熱性が必要な場面での活躍も期待されています。
京セラのサファイアチューブは、チューブ形状のままで育成することにより、育成後の加工時間を短縮したり、コストを抑えたりといったメリットを生み出しています。
- キーワード:
- 光透過性
- 耐プラズマ性
- 耐薬品性
- 高純度
- 耐熱性
製品データ
材料 | 単結晶サファイア |
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特長
優れた材料特性(強度、硬度、耐熱)で長寿命。高い透過率を有する。
異形状チューブや片封止チューブの製作、穴加工や表面の研削・研磨仕上げが可能。
プラズマ、腐食性ガスに対する耐性が高く、装置内での発塵を抑制。
特性比較
※記載の数値は全て社内測定による代表値であり、製品の仕様を保証する値ではありません。
デザインガイド
以下に記載のないサイズも対応可能です。ご相談ください。
サファイアチューブ
片封止チューブ
※As-grown…結晶引き上げ後、未加工のこと。
製作・加工例
特殊なチューブ形状の製作も可能
角筒やチューブの長手方向に複数の穴を有する円筒などの製作実績があります。その他の形状につきましても、お気軽にご相談ください。
チューブ側面への穴加工・研磨加工
側面への穴加工は、穴のサイズや位置、ピッチを精密に制御しての加工が可能です。また、パーティクル発生対策として、穴の内周面の研磨加工にも対応しています。
用途例
サファイアノズル:半導体製造装置内においてプラズマを送り込む「シャワーヘッド」部にサファイアノズルを使用
高い耐薬品性・耐プラズマ性によりパーティクルの発生を抑え、装置内をクリーンに保つことが可能です。
熱電対保護管:半導体製造装置のチャンバー内のプロセスガス*から熱電対を保護するための保護管として使用
高耐熱、高熱伝導率のサファイアを採用することで、測温を妨げずに保護できます。
*プロセスガス:水素(H2)、アンモニア(NH3)、塩素(Cl2)、六フッ化硫黄(SF6)など