サファイアチューブ

優れた材料特性(強度、硬度、耐熱)で長寿命。高い透過率を有する。

異形状チューブや片封止チューブの製作、穴加工や表面の研削・研磨仕上げが可能。

プラズマ、腐食性ガスに対する耐性が高く、装置内での発塵を抑制。

特性比較

※記載の数値は全て社内測定による代表値であり、製品の仕様を保証する値ではありません。

デザインガイド

以下に記載のないサイズも対応可能です。ご相談ください。

サファイアチューブ

片封止チューブ

※As-grown…結晶引き上げ後、未加工のこと。

製作・加工例

特殊なチューブ形状の製作も可能

角筒やチューブの長手方向に複数の穴を有する円筒などの製作実績があります。その他の形状につきましても、お気軽にご相談ください。

チューブ側面への穴加工・研磨加工

側面への穴加工は、穴のサイズや位置、ピッチを精密に制御しての加工が可能です。また、パーティクル発生対策として、穴の内周面の研磨加工にも対応しています。

サファイアノズル：半導体製造装置内においてプラズマを送り込む「シャワーヘッド」部にサファイアノズルを使用

高い耐薬品性・耐プラズマ性によりパーティクルの発生を抑え、装置内をクリーンに保つことが可能です。

熱電対保護管：半導体製造装置のチャンバー内のプロセスガス*から熱電対を保護するための保護管として使用

高耐熱、高熱伝導率のサファイアを採用することで、測温を妨げずに保護できます。
*プロセスガス：水素(H₂)、アンモニア(NH₃)、塩素(Cl₂)、六フッ化硫黄(SF₆)など