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プラズマ発生・導入用サファイアチューブ

優れた耐プラズマ性、低誘電損失材料である特長を活かしたチューブ形状部品
プラズマ発生・導入用サファイアチューブ

京セラのサファイアは、高純度(99.99%)で、優れた耐プラズマ性、耐熱性があり、パーティクルの発生が抑えられるため、装置の構成部材、治具など様々な半導体製造装置部品に採用されています。また、低誘電損失材料であり、マイクロ波導入チューブにも採用されています。

キーワード:
耐熱性
耐プラズマ性
低誘電損失

製品データ

材質 単結晶サファイア
精度 標準寸法公差(mm、呼び寸法:a)
1>a :±0.05
1≦a≦4 :±0.1
4<a≦25 :±0.2
25<a≦102 :±0.25
102<a≦190 :±0.5
190<a :±1

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