コージライトに関連する製品一覧

コージライトについて

低熱膨張な材料であり、軽量、高強度、高剛性かつ耐熱衝撃性にも優れます。

(あいうえお順)

  • 写真
  • 製品名・部品名/説明文
  • 特長
  • 用途(役割)
写真:リンク先:真空チャック、ステージ一体型ミラー、ステージ部品

真空チャック、ステージ一体型ミラー、ステージ部品

高純度と優れた耐薬品性の搬送部品。使用条件に合わせ、様々な表面形状が可能です。
  • 高精度
  • 低熱膨張
  • 高剛性
  • ウエハ保持/運搬
写真:リンク先:低熱膨張セラミックミラー

低熱膨張セラミックミラー

高い剛性により薄型化と軽量化を実現
  • 高剛性
  • 低熱膨張
  • 望遠鏡用ミラー
  • 半導体製造装置用ミラー
  • 三次元測定機用ミラー

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